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Résultats RGA (analyse de gaz résiduels) pour codeurs optiques absolus RESOLUTE™ UHV

Renishaw fournit des données RGA (analyse de gaz résiduels) pour divers systèmes sous vide RESOLUTE. Cela permet de mettre en évidence les effets du système de codage sur un environnement sous vide.

Résultats RGA

Programme de test

Un spectromètre de masse quadripolaire (AccuQuad 200 RGA) a été utilisé pour collecter des données RGA (analyse de gaz résiduels). La pression de la chambre a été mesurée avec une jauge d’ionisation (G8130). Après conditionnement initial du système, un spectre de « background » a été enregistré avec la pression totale dans la chambre de test.

Le composant a été placé dans le système de vide (0,0035 m3), lequel a été évacué à l’aide d’une pompe ionique diode KJL Lion 802 (800/s) et d’une pompe à membrane Divac à température ambiante pendant 24 heures, à la suite de quoi un scan de « background » (fond continu) et la pression totale dans la chambre de test ont été de nouveau consignés. Le spécimen de test a de nouveau été étuvé à 120 °C pendant 48 heures en cas de pression système supérieure à 5 x 10-9 mbar. On a ensuite laissé le système refroidir à température ambiante avant de relever une mesure finale du spectre de masse et de la pression totale. Les scans RGA finaux sont illustrés ci-dessous.

REMARQUE :

Il ne faut pas s’attendre à obtenir une reproduction exacte de ces résultats, car les données RGA dépendent de l’état, des spécifications et des performances du système de vide. Toutefois, les résultats de l’analyse de gaz résiduels ne mettent pas en évidence une contamination significative attribuable au RESOLUTE UHV, et ces conditions de vide poussé peuvent donc être obtenues en présence de ce produit.

Image RGA RESOLUTE UHV