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Système de codage incrémental TONiC™ UHV avec règle linéaire RKLC20-S

Caractéristiques

  • Dimensions de la tête de lecture : 35 x 13,5 x 10 mm
  • Résolutions jusqu’à 1 nm
  • Vitesse jusqu’à 10 m/s
  • Sorties analogiques ou numériques
  • Erreur de subdivision (SDE) type ultra-faible < ±30 nm
  • Marque de référence optique IN-TRAC™ que le client peut sélectionner

Avantages

  • Ultravide (UHV)
  • Règle mince de 6 mm de largeur convenant aux applications à contraintes d'espace
  • Règle sur substrat donnant de meilleures performances métrologiques
  • Codeur super compact avec conditionnement de signal dynamique pour un meilleur asservissement
  • Facile à découper à la longueur souhaitée
  • Forte immunité à la saleté et aux solvants
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TONiC UHV – Définition

Avec le TONiC UHV, les systèmes de codage sans contact, super compacts sont à la disposition des applications ultravide (UHV) en produisant des asservissements améliorés pour les utilisateurs.

TONiC propose des vitesses de jusqu'à 10 m/s et, combiné à l'interface Ti, des résolutions pouvant descendre à 1 nm dans des applications tant linéaires que rotatives. Les systèmes TONiC sont rapides et faciles à installer. Ils offrent une ample gamme de tolérances et leur calibration s'effectue par simple pression d'un bouton. Le traitement de signal dynamique du TONiC améliore la stabilité du signal avec une erreur de subdivision ultra faible de (valeur type < ±30 nm) pour obtenir des performances d'asservissements supérieures.

Qu’est-ce que la règle RKLC20-S ?

La RKLC20-S est une règle flexible mince en acier inoxydable bas profil dotée de graduations incrémentales à pas de 20 µm et de marques de référence IN-TRAC que le client peut sélectionner. Précision à ±5 µm/m près et disponibilité en longueurs de jusqu'à 20 mètres (> 20 m sur demande). La RKLC20-S est étalonnée au substrat de la machine pour améliorer les performances métrologiques quand les extrémités de la règle sont fixées rigidement au substrat.

Pourquoi choisir ce système de codage ?

Ultravide (UHV)

Les têtes de lecture TONiC UHV intègrent les performances remarquables du système TONiC standard pour créer une tête de lecture conçue et construite avec des matériaux et des procédés compatibles à l'ultravide ce qui permet de répondre à des conditions UHV de jusqu'à 10-10 Torr.

La gamme de codeurs et accessoires TONiC UHV est construite à base de matériaux et d'adhésifs compatibles au vide. Ils donnent de faibles taux de dégazage et de bons résultats à l'analyse de gaz résiduel propre (RGA). Ils conviennent donc à de nombreuses applications telles que les manipulations et tests de tranches de semi-conducteurs, les instruments scientifiques, la spectroscopie, les équipements d'inspection sous vide, etc.

Fiabilité et performances exceptionnelles dans des dimensions compactes

Pour assurer une fiabilité optimale, des performances cohérentes et une très bonne immunité à la saleté, les têtes de lecture TONiC sont dotées d'une optique de filtrage troisième génération ajustée pour produire un niveau de gigue encore plus faible. Elles bénéficient également d'un traitement dynamique de signal avec contrôles automatiques de gain et d'offset. Cette combinaison, regroupée à l'intérieur de la tête de lecture, produit des signaux d'une pureté incomparable et une erreur de subdivision ultra faible de < ± 30 nm (valeur type). On obtient ainsi une régulation plus homogène de la vitesse et de ce fait des performances supérieures en scanning de même qu'une meilleure stabilité du positionnement, ces paramètres étant essentiels dans de très nombreuses applications. Tout cela regroupé dans une tête de lecture compacte.

Règle mince, robuste et polyvalente.

La RKLC est une règle de codage flexible et robuste, en acier inoxydable. Elle a une largeur de 6 mm et une épaisseur de 0,15 mm. Ceci lui permet, quand elle est fixée rigidement à un axe machine, d'être étalonnée au substrat de la machine en adoptant sa dilatation thermique et son comportement. C'est ainsi que le mouvement entre la règle et la machine est minimisé.

Les positions d'index sont fournies par les marques de référence optique IN-TRAC directement gravées dans les marquages de la règle incrémentale pour réaliser une mise en phase automatique. Ce modèle de règle compacte facilite l'installation des codeurs pour les applications sujettes à contraintes d'espace. La règle RKLC combine également la précision ±5 µm/m avec la robustesse mécanique et chimique de l'acier inoxydable. Par ailleurs elle est facile à enrouler et à découper suivant la longueur requise.

Options d'interface

Interface TD (double résolution)

  • Sortie sélectionnable en quadrature double résolution. Interface Ti (carré)
  • Parfaite pour les applications exigeant des déplacements grande vitesse combinés à un mouvement à précision supérieure (répétable).

Interface DOP (double sortie)

  • Elle fournit des signaux simultanés en quadrature numérique et 1 V (crête à crête).
  • Conçu pour applications exigeant la synchronisation d'une ou plusieurs opérations avec un axe de mouvement.Interface TONiC double sortie (DOP)

Kit de diagnostic en option

Kit de diagnostic TONiC™ (logiciel et matériel)

Le logiciel de diagnostic TONiC permet d'optimiser l'installation des codeurs TONiC et d'assurer une calibration rapide et complète du système. Ce logiciel doit s'utiliser conjointement avec le matériel de diagnostic TONiC vendu par Renishaw sous la référence A-9411-0011. Ce matériel se branche sur le PC via le câble USB (fourni dans le kit) ou se met en ligne avec l'électronique du client.

Plus d'informations sur le kit de diagnostic TONiC.

Spécifications techniques

Norme de mesure

Règle flexible mince en acier inoxydable à dos autocollant pour montage direct sur un substrat

Dimensions de la tête de lecture (Lo x La x Ha)

35 mm x 13,5 mm x 10 mm

Pas de la règle

20 µm

Coefficient de dilatation thermique

S'adapte au matériau du substrat quand les extrémités de la règle sont solidement fixées au substrat

Degré de précision à 20 °C

± 5 μm/m

Marque de référence

Marques de référence IN-TRAC gravées directement dans les RKLC-S

Aimant sélecteur utilisé pour identifier les marques de référence choisies

Fins de course

Limites doubles ou simples (sélectionnez en passant la commande)

Longueur de règle

Jusqu'à 20 m (> 20 m sur demande)

Forme de règle (Ha x La)0,15 mm x 6 mm adhésif compris

Vitesse maximale

Analogique

Numérique

(Voir fiche technique pour plus d’informations)

Jusqu’à 10 m/s à -3dB

Jusqu’à 10 m/s

Erreur de subdivision (SDE)

Valeur type <±30 nm

Commande de signal dynamique

Conditionnement de signal en temps réel avec contrôle automatique de gain (AGC) et d'offset (AOC) pour performances optimisées pendant l'exploitation

Signaux incrémentaux

Analogique

Numérique


1 V crête à crête (période de 20 µm)

Résolutions de 5 µm à 1 nm

Liaison électrique

Câbles 0,5, 1, 1,5, 3, 5 et 10 m avec mini-connecteur (se branche directement sur l'interface TONiC)

Alimentation

5 V ±10%, < 100 mA (système analogique), <200 mA (systèmes numériques) (sans terminaison)

Vibrations (en fonctionnement)

100 m/s2maxi sur plage 55 Hz à 2000 Hz

Choc (hors fonctionnement)

500 m/s2, 11 ms, ½ sinus, 3 axes

Température d’exploitation (système)

0 °C à +70 °C

Température d'étuvage (hors fonctionnement)120 °C (Tête de lecture et règle uniquement)

Étanchéité

Tête de lecture : IP20

Interface : IP20

Constitution du câbleBlindage simple en maille de cuivre étamé, isolation de l'âme en FEP

Consultez les fiches techniques pour avoir des détails complets.