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Miroirs et optiques

Renishaw propose plusieurs options d'optiques et de miroirs répondant à votre application spécifique.

Miroirs plans

Miroir plan avec points de montage

Les miroirs plans fournis par Renishaw sont fabriqués sur un substrat en verre à faible niveau de dilatation et possèdent une couche diélectrique en oxyde dur.

Caractéristiques et avantages

  • Stabilité thermique - Fabriqué sur un substrat à faible dilatation thermique qui minimise les erreurs dues aux variations ambiantes.
  • Hautement réfléchissant - Surface de miroir hautement réfléchissante (> 97%) donnant les meilleures performances possibles.
  • Facile à monter - Les montures de miroir Renishaw constituent une solution simple de réglage et d'alignement.

Dimensions

Coupe25 mm x 25 mm
Ouverture optique60 mm à 380 mm (en incréments de 10 mm)

Caractéristiques

Planéité locale< λ/10 sur une surface de 12 mm de largeur x 7 mm de hauteur (λ = 633 nm)
Planéité totale< λ/10 par 100 mm < 0,5 µm par 500 mm
Polarisation croisée> 0,5%
Réflectivité> 97% du faisceau incident
MatériauVerre à faible niveau de dilatation

En raison de leur configuration et dimensions personnalisées, les miroirs plans doivent faire l'objet de commandes spéciales. En tant que tel, ils peuvent être soumis à des délais de livraison plus longs et à des quantités minimum de commande. La fiche technique au bas de la page répertorie en outre les spécifications qui permettent de s'approvisionner localement.

Montures de miroirs

Montures de miroirs RAM10 Renishaw

Pour assurer une installation des miroirs et bien les aligner sur le système moteur, Renishaw fournit également des montures réglables avec des miroirs de jusqu'à 350 mm de longueur et 25 mm x 25 mm de coupe.

Ces montures permettent un réglage de jusqu'à ± 2,5° pour le lacet et de ± 1° pour le tangage. (La plage de réglage réelle dépend de la longueur du miroir.)

Caractéristiques et avantages

  • Facile à aligner - Un réglage intégré de tangage et de lacet permet d'accélérer le processus d'alignement du miroir.
  • Monture stable - Fondations solides pour le miroir autorisant sa dilatation thermique s'il y a lieu.
  • Non-restrictif - en serrant uniquement le miroir sur deux faces, on réduit la contrainte dans le miroir ce qui minimise les risques de le courber une fois monté.

Les montures de miroir fournies par Renishaw ne sont pas compatibles avec le vide.

Fenêtre de chambre de vide 39 mm

Fenêtre de chambre de vide 39 mm

Le codeur laser à fibres optiques RLE proposé par Renishaw utilise l'interférométrie pour produire des données de positions linéaires haute résolution.

La tête d'interféromètre différentiel (RLD10-X3-DI) a été conçue pour être monté contre la paroi de la chambre de vide. La fenêtre de la chambre de vide laisse alors les faisceaux laser passer entre la tête de détection et le miroir de mesure. Les fenêtres de chambre de vide peuvent aussi s'utiliser avec d'autres versions de tête d'interféromètre, le RLD étant nécessaire pour mesurer à l'intérieur d'une chambre de vide, comme l'interféromètre compatible au vide RVI20.

Même si Renishaw ne fabrique aucune fenêtre de chambre de vide, la fenêtre de chambre de vide de 39 mm a été choisie conformément à un cahier de charges personnalisé, afin de maximiser les performances du système RLE.

Recommandations de montage

Renishaw vous recommande d'observer les consignes suivantes pour monter la fenêtre de chambre de vide contre la paroi de la chambre.

  • La fenêtre ne doit pas être soumise à contrainte susceptible de la déformer et de faire dévier le faisceau par rapport à la valeur nominale.
  • Un joint torique doit être placé d'au moins un côté de la fenêtre de chambre de vide, pour créer et maintenir l'étanchéité de la paroi de la chambre de vide.

Ensemble périscope 15 mm DI

Ensemble périscope 15 mm DI

L'ensemble périscope augmente le décalage entre les faisceaux de mesure et de référence de la tête de détecteur RLD10-X3-DI d'interféromètre différentiel.

L'ensemble emploie deux miroirs pour augmenter le décalage de 15 mm afin de produire une séparation totale de 29 mm (le décalage standard RLD10-X3-DI est de 14 mm).

Caractéristiques et avantages

  • Décalage accru - Permet un décalage supplémentaire de 15 mm entre la mesure et le faisceau de référence.
  • Hautement réfléchissant - L'utilisation de miroirs hautement réfléchissants minimise la chute de puissance du signal entre les faisceaux de mesure et de référence.
  • Monture standard - Le périscope maintient la monture de tête DI standard.

Interféromètre RVI20 compatible au vide

Interféromètre RVI20 compatible au vide

Le RVI20 est un ensemble d'interféromètre compatible au vide pour miroirs plans qui, quand on l'utilise avec une tête de détecteur Renishaw RLD10-A3-XX permet de conserver la trajectoire complète de mesure dans l'environnement sous vide.

Le RVI20 a été conçu pour être installé dans la chambre de vide et pour que le faisceau laser soit passé de la tête de détecteur RLD10-A3-XX par une fenêtre de la chambre dans le RVI20 puis sur le miroir plan.

Caractéristiques et avantages

Interféromètre RVI20 compatible au vide
  • Mesures relatives - Elles permettent des mesures relatives entre deux parties de la machine, l'outil et à pièce à usiner par exemple.
  • Compatibilité au vide - Compatible avec les applications en ultra vide et convient à une installation en chambre sous vide.
  • Optique haute qualité - Le RVI20 renferme l'ensemble optique d'interféromètre haute qualité Renishaw normalement utilisé dans la tête de détecteur RLD.

Le RVI20 a été mis au point pour des applications de codeur laser exigeant que la trajectoire de mesure soit à l'intérieur de l'environnement de vide.

Informations produit