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Applications de codeur laser

Codeurs laser à fibre optique - semiconducteur

Détails de l'application

L'industrie du semiconducteur est bien connue pour ses cycles de développement très rapides et sa capacité de produire des puces toujours plus petites, plus rapides et plus abordables. Un des moyens d'atteindre ces cibles est de garantir l'efficacité maximale des processus de fabrication, capables de produire durablement des extrants de qualité exceptionnelle.

Les systèmes de codage laser sont très répandus dans l'industrie des semiconducteurs, où leurs capacités d'assurer la précision optimale des processus de fabrication et d'inspection permettent de les atteindre.

Avantages de l'application

Principales exigencesSolution Renishaw
Niveau de précision nanométriqueLa tête de mesure à interféromètre différentiel RLD10-X3-DI permet de mesurer directement entre la table et le coulisseau ou dans les applications sous vide.
Répétabilité de l'ordre du sous-nanomètreL'unité Renishaw RLU20 s'acquitte d'une stabilité de fréquence laser exceptionnelle, pour une répétabilité top niveau dans les applications sous vide.
Résolutions en picomètres

L'utilisation de la Renishaw RPI20 permet d'obtenir une résolution maximale de 38,6 pm, au format 36 bits parallèle.

Expérience

L'industrie des semiconducteurs utilise les codeurs laser et interféromètres à mesure de déplacement depuis plusieurs années. Renishaw approvisionne les équipementiers de l'industrie des semiconducteurs en solutions de codage laser depuis 2005. Sa réputation de collaborateur et de conseillers aux fabricants d'équipements de ce secteur n'est plus à faire.




Tête de détecteur d'interféromètre différentiel RLD10

Codeurs laser à fibre optique - Synchrotron

Détails de l'application

Le Synchrotron est un type tout particulier d'accélérateur de particules, utilisé dans la recherche scientifique pour la réalisation de diverses expériences. Chacune de ces expériences s'accompagne de ces propres défis, notamment par rapport aux systèmes de commande de mouvement haute précision, à l'analyse des vibrations ou aux mesures de dérive. Ces expériences font appel aux codeurs laser ou capteurs de déplacement, en fonction des besoins de l'application.

Avantages de l'application

Principales exigencesSolution Renishaw
Alignement et installation simplifiésLes RLD Renishaw sont dotés d'optiques d'alignement de faisceau qui, en association avec l'unité laser à fibre optique, facilitent la configuration et l'alignement du système.
Taux élevé de mise à jourÀ travers l'unité RSU10, l'interface USB utilisable avec les packages logiciels standards Renishaw ou avec des solutions personnalisées par le biais du kit de développement logiciel (SDK) disponible gratuitement, s'acquitte d'un taux de mise à jour maximum de 50 kHz.
Partage des connaissances et collaborationComprendre et définir les éléments à mesurer, constituent souvent le premier défi à relever. Renishaw s'est forgée une réputation solide de développeur de partenariats professionnels avec ses clients, capable de leur fournir la solution la mieux adaptée à leurs besoins.

Expérience

Des Synchrotrons de taille variée sont implantés aux quatre coins du monde. Renishaw a eu la chance de pouvoir travailler avec plusieurs instituts, afin de développer une solution pratique, réalisable et qui souvent, dépasse les critères initiaux.

Application Isara RLE

Codeurs laser à fibre optique - étages XY

Détails de l'application

Les étages XY sont utilisés dans des applications très diverses, de la fabrication en grandes séries aux équipements de test et de recherche. Typiquement, les étages XY souffrent de l'effet des erreurs d'Abbé. Ces erreurs angulaires intervenant au niveau de l'étage, peuvent aboutir à de graves erreurs de positionnement en fin d'étage. Le recours aux systèmes de codage interférométrique et la mesure au point à étudier permettent d'éliminer l'effet de ces sources d'erreur.

Avantages de l'application

Principales exigencesSolution Renishaw
Éliminer les erreurs d'Abbé ou d'étageDoté de têtes de détecteur compactes, le système Renishaw RLE s'installe facilement près de l'étage. Une mesure directe au point à étudier peut alors être réalisée facilement.
Source de chaleur distanteLes sources laser produisent normalement beaucoup de chaleur. Le transfert à base de fibre optique proposé par Renishaw permet de monter l'unité laser (RLU) à 3 ou 6 mètres de la zone de travail et d'éviter la production de chaleur à cet endroit.
Intégration et configuration facilesLes systèmes à interféromètre sont normalement difficiles à intégrer et configurer. En mettant au point une solution à base de fibre optique associée à un interféromètre et à une structure de détection compacts, Renishaw est parvenue à combiner les performances de mesure des codeurs à interféromètre et la facilité d'installation des codeurs optiques d'utilisation courante types.

Expérience

Renishaw, c'est plus de 20 ans d'expérience dans l'intégration des solutions de codage à interféromètre à une vaste gamme d'applications, des environnements agressifs des ateliers de machines-outils à commandes numériques aux critères de performances exigeants de l'industrie des semi-conducteurs.

Cette expérience est le fruit d'une collaboration étroite et de partenariats évolutifs avec divers équipementiers et constructeurs d'étages. Renishaw les aident à intégrer les systèmes de codage à interféromètre à leurs prochaines générations de produits, leur garantissant une technologie en progrès constant.

Système RLE sur étage XY


Image avec l'aimable permission d'Aerotech.

Produits de codage laser longue portée - Aéronautique

Détails de l'application

Le moteur de l'industrie aéronautique est sa volonté d'atteindre de hauts niveaux de tolérance sur les pièces les plus grandes. Le recours aux solutions de codage laser à interféromètre l'aide à la concrétiser. Sur les grandes machines à commandes numériques typiquement utilisées pour les longerons d'aile ou les fuselages, les axes de machine plus longs doivent souvent mesurer 30 mètres de longueur, voire plus. Associé au compensateur RCU10, le système Renishaw HS20 peut s'acquitter d'une précision de ±30 µm sur un axe de 30 m.


Avantages de l'application

Principales exigencesSolution Renishaw
Mesure longue portée en environnement agressifLa tête laser Renishaw HS20 peut mesurer les distances jusqu'à 60 m. Maintes fois éprouvée dans les conditions les plus difficiles, la fiabilité de l'unité HS20 lui permet de préserver sa position de chef de file du marché dans ce domaine.
Système de mesures sans contactLa mesure directe élimine les erreurs associées aux systèmes de renvoi de données à vis à bille ou à crémaillère et notamment les erreurs d'hystérésis, de jeu, d'usure mécanique et cycliques.
Compensation de pièce à usiner et de structure de la machineLes modules intégrés au système de compensation du RCU10, ont été conçus pour compenser la dilatation et la contraction thermiques de la structure de la machine et de la pièce à usiner, préservant la fiabilité des mesures au fil des cycles d'usinage prolongés.

Expérience

Collaborant avec des constructeurs aéronautiques et de grands constructeurs de machines-outils à commandes numériques du monde entier, Renishaw a installé un nombre considérable de systèmes à interféromètre laser en service à l'heure actuelle.

Ces systèmes à interféromètre servent sur les machines d'usinage des alliages pour avions, jusqu'aux composites en fibre de carbone utilisés sur les avions modernes. Ces applications obligent à prévoir les tolérances les plus élevées sur les pièces les plus longues, facilement réalisables avec les systèmes de codage à interféromètre Renishaw.

Application HS20

Produits de codage laser longue portée - MMT

Détails de l'application

Les machines à mesurer tridimensionnelles (MMT) sont normalement dotées de codeurs optiques. Toutefois sur les plus grandes MMT exigeant des performances précises et répétables, les codeurs laser à interféromètre sont de plus en plus utilisés.

La MMT se présente le plus souvent sous la forme d'un portique. Sur les MMT plus grandes, l'erreur d'obliquité consécutive à ce portique peut aboutir à des erreurs de positionnement considérables. Toutefois, le recours aux codeurs à interféromètre dans la partie haute du portique permet d'éliminer les erreurs d'obliquité.

Avantages de l'application

Principales exigencesSolution Renishaw
Mesures longue portéeLes options de codage laser Renishaw peuvent s'acquitter de mesures longue portée jusqu'à 60 avec l'unité HS20 et 4 m avec RLE.
Point à étudierL'avantage déterminant des systèmes de codage laser à interféromètre, est la possibilité de mesurer au point à étudier.
Installation et alignement facilitésLes systèmes Renishaw font appel à une source de lumière visible. Associée à une simple sortie de 0 à 1V de la source de lumière, elle garantie la facilité de l'installation et de l'alignement.

Expérience

Renishaw a développé divers rapports à travers ses collaborations avec les équipementiers. Ces rapports lui permettent de fournir des configurations capables d'aboutir aux performances de mesure spécifiées par le client. La compréhension du cadre métrologique de la machine est essentielle pour élaborer la solution qui convient.

Image d'inspection MMT

Produits de codage laser longue portée - LCD

Détails de l'application

Les machines servant à fabriquer et inspecter les produits LCD évoluent, parallèlement au développement de cette industrie. Les écrans de grande taille et les petites dimensions d'entités améliorent les performances du système de métrologie de la machine. Les codeurs laser fournissent la solution capable de satisfaire ces exigences

Avantages de l'application

Principales exigencesSolution Renishaw
Point à étudierPour les grandes applications d'étage XY, lorsque les erreurs d'Abbé héritées nuisent à la précision de la machine. Les solutions de codage laser Renishaw permettent de mesure directement au point à étudier.
Technologie éprouvée par des industries similairesL'industrie des semiconducteurs fait confiance aux solutions de codage laser Renishaw depuis de nombreuses années, tant elles sont fiables et s'acquittent durablement du même niveau de performance que le produit neuf, même après plusieurs années de service continu.
Mesures haute performanceCaractérisés par des périodes de signal analogique de 158 ou 316 nm, les codeurs laser à interféromètre s'acquittent de résolutions interpolées en picomètres.

Expérience

Renishaw exploite l'expérience acquise en travaillant avec les équipementiers et constructeurs d'étages, pour limiter les temps d'intégration. Notre expérience et notre maîtrise de ces différentes applications nous permettent d'identifier, rapidement, le système de codage interférométrique le mieux adapté à votre application.

Inspection LCD (photos Getty)