 | TONiC™ UHV codeur rotatif (angulaire) compatible au videLa tête de lecture de codage angulaire TONiC UHV est compatible avec les règles rotatives haute précision de Renishaw dotées des marques de référence optiques IN-TRAC™, entre autres les anneaux ultra haute précision RESM et REXM. Ces systèmes de codage produisent des données de positionnement haute fidélité en conditions d'ultra vide.
Tête de lecture incrémentielle TONiC haute performanceToutes les têtes de lecture TONiC utilisent la nouvelle génération d'optique Renishaw à filtrage, désormais optimisées pour un bruit ultra faible. La conception d'optique évoluée est renforcée par un conditionnement dynamique du signal avec des contrôles automatiques du gain (AGC) et des correcteurs (AOC). Ceci produit des signaux de sortie d'une pureté exceptionnelle avec une erreur de subdivision de ± 30 nm, un bruit (gigue) de 0,51 nm (efficace) et une résolution de jusqu'à 0,00075 secondes d'arc. Toutes les règle TONiC comprennent la marque de référence IN-TRAC, directement intégrée au canal incrémentiel. Elle permet d'effectuer une mise en phase électronique automatique en appuyant sur un seul bouton (également possible à distance). La marque de référence IN-TRAC présente aussi l'avantage de rester en phase à toutes les vitesses et sur toute la plage de température d'exploitation. Anneaux monoblocs haute précision en inoxComme les anneaux monoblocs RESM sont faits en acier inoxydable série 300 sans aucun enduit, ils peuvent être soumis à des nettoyages et dégraissages spécialisés. L'anneau est pourvu d'un grand trou traversant et d'un petit profil qui simplifie la conception tout en minimisant la masse et l'inertie. L'anneau est également doté de la monture conique brevetée Renishaw, un moyen facile pour réaliser des réglages fins avec un haut niveau de stabilité sur de larges gammes de température. Les anneaux RESM pour applications UHV sont disponibles dans une gamme de diamètres de 52 à 550 mm avec des dimensions personnalisées et des diamètres encore plus grands disponibles sur demande. Pour les axes à performances optimales, TONiC UHV est également compatible avec les anneaux REXM ultra haute précision. Utilisés avec deux têtes de lecture, les anneaux REXM sur diamètre de 100 m ont une précision installée totale meilleure que ± 1 seconde d'arc. La DSi (Dual Signal Interface) a facilité l'ajout d'une deuxième tête de lecture, car cette interface se charge de combiner les canaux incrémentiels et les signaux de marque de référence pour que la sortie apparaisse à l'automate sous la forme d'une seule entrée de codeur très haute précision. Les têtes de lecture TONiC UHV ont été fabriquées en conditions propres spéciales avec des matériaux et adhésifs spécialement sélectionnés pour leurs faibles taux de dégazage. Le produit est emballé et conditionné dans un sachet compatible au vide pour garantir le maintien de la propreté. Résultats des analyses de gaz résiduels (RGA)Des tests RGA (analyses de gaz résiduels) ont démontré que l'ensemble du système convenait aux conditions de vide propre. Il convient également aux étuvages à 120 °C sous vide poussé. Les applications types sont la manipulation/inspection de tranches de semi-conducteurs et les recherches scientifiques. Résultats de spectre RGA pour tête de lecture TONiC ultra vide (UHV)
Cliquez sur le graphique pour l'agrandir Résultats de mesure provisoires : Ce spectre RGA concerne une tête de lecture TONiC UHV à laquelle aucun cordon n'est branché. Ce fichier sera mis à jour avant le lancement du produit afin d'inclure un spectre RGA pour tête de lecture TONiC dotée d'un cordon compatible à l'ultra vide. IMPORTANT ! L'interface TONiC doit être positionnée à l'extérieur de l'environnement UHV. Résultats de spectre RGA pour anneau rotatif RESR (physiquement identique à l'anneau RESM)
Cliquez sur le graphique pour l'agrandir Veuillez noter que les anneaux RESR et RESM sont identiques, la seule différence étant la marque de référence IN-TRAC. Il s'agit d'une graduation gravée directement dans l'inox qui n'affecte pas le spectre RGA (analyse de gaz résiduel). Brochures
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La tête de lecture de codage angulaire TONiC UHV est compatible avec les règles rotatives haute précision de Renishaw dotées des marques de référence optiques IN-TRAC™, entre autres les anneaux ultra haute précision RESM et REXM. Ces systèmes de codage produisent des données de positionnement haute fidélité en conditions d'ultra vide. Disponible depuis le deuxième trimestre 2010, le codeur angulaire TONiC UHV est conçu pour les semi-conducteurs et les applications scientifiques où rien ne doit entraver les performances et la fiabilité..jpg)
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