 | Codeur linéaire compatible au vide TONiC™ RGH25F UHVLa tête de lecture de codage linéaire TONiC UHV est compatible avec les règles linéaire haute précision Renishaw à marques de référence optiques IN-TRAC™, y compris les règles solides en Invar® RELM et en inox RSLM. Ces systèmes de codage produisent des données de positionnement haute fidélité en conditions d'ultra vide.
Tête de lecture incrémentielle TONiC haute performanceToutes les têtes de lecture TONiC utilisent la nouvelle génération d'optique Renishaw à filtrage, désormais optimisées pour un bruit ultra faible. La conception d'optique évoluée est renforcée par un conditionnement dynamique du signal avec des contrôles automatiques du gain (AGC) et des correcteurs (AOC). Ceci produit des signaux de sortie d'une pureté exceptionnelle avec une erreur de subdivision de ± 30 nm, un bruit (gigue) de 0,51 nm (efficace) et des résolutions de 1 nm. Toutes les règle TONiC comprennent la marque de référence IN-TRAC, directement intégrée au canal incrémentiel. Elle permet d'effectuer une mise en phase électronique automatique en appuyant sur un seul bouton (également possible à distance). La marque de référence IN-TRAC présente aussi l'avantage de rester en phase à toutes les vitesses et sur toute la plage de température d'exploitation. Règles haute précision compatibles au vide pousséLes règles solides RELM en Invar ont une dilatation thermique « nulle » et une précision totale garantie meilleure que ± 1 µm sur des longueurs de jusqu'à 1 130 mm. Les règles en inox RSLM donnent une très haute précision avec la commodité d'une règle souple. Qui plus est, elles sont maintenant disponibles en longueurs de jusqu'à 10 mètres, ce qui les rend particulièrement adaptées aux axes grandes longueurs exigeant une métrologie sans compromis. Les têtes de lecture TONiC UHV ont été fabriquées en conditions propres spéciales avec des matériaux et adhésifs spécialement sélectionnés pour leurs faibles taux de dégazage. Le produit est emballé et conditionné dans un sachet compatible au vide pour garantir le maintien de la propreté. Résultats des analyses de gaz résiduels (RGA)Des tests RGA (analyses de gaz résiduels) ont démontré que l'ensemble du système convenait aux conditions de vide propre. Il convient également aux étuvages à 120 °C sous vide poussé. Les applications types sont la manipulation/inspection de tranches de semi-conducteurs et les recherches scientifiques. Résultats de spectre RGA pour tête de lecture TONiC ultra vide (UHV)
Cliquez sur le graphique pour l'agrandir Résultats de mesure provisoires : Ce spectre RGA concerne une tête de lecture TONiC UHV à laquelle aucun cordon n'est branché. Ce fichier sera mis à jour avant le lancement du produit afin d'inclure un spectre RGA pour tête de lecture TONiC dotée d'un cordon compatible à l'ultra vide. IMPORTANT ! L'interface TONiC doit être positionnée à l'extérieur de l'environnement UHV. Résultats de spectre RGA pour une règle linéaire en inox RSLM
Cliquez sur le graphique pour l'agrandir Pression de base du système 3 x 10-10 mbar. Invar® est une marque de commerce déposée par Arcelor Mittal Brochures
Fiches techniques
Étapes suivantesContactez-nous en ligne si vous souhaitez obtenir davantage d'informations ou si vous avez une question de tarif. Sinon, vous pouvez vous adresser directement à votre bureau Renishaw local. |
La tête de lecture de codage linéaire TONiC UHV est compatible avec les règles linéaire haute précision Renishaw à marques de référence optiques IN-TRAC™, y compris les règles solides en Invar® RELM et en inox RSLM. Ces systèmes de codage produisent des données de positionnement haute fidélité en conditions d'ultra vide. Disponible depuis le deuxième trimestre 2010, le codeur linéaire TONiC UHV est conçu pour les semi-conducteurs et les applications scientifiques où rien ne doit entraver les performances et la fiabilité..jpg)
.jpg)
