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Semi-conducteurs

Les électroniques modernes utilisent nombreux matériaux semiconducteurs. Les dispositifs électroniques les plus avancés, comme les cellules solaires, les diodes électroluminescentes (LEDs) ou encore les processeurs, poussent les propriétés des matériaux à leurs limites et exigent l’utilisation de matériaux extrêmement purs et homogènes. La spectroscopie Raman est l'outil idéal pour l'étude des semi-conducteurs

Caractérisation des semiconducteurs

La technologie Raman peut caractériser et générer des images de tous les semiconducteurs à base de silicium, de carbone, de polymères ou encore les matériaux III-V. Elle permet de révéler de nombreuses informations, notamment :

  • la composition chimique et structurelle du matériau (par exemple le pourcentage d’alliage des composés semi-conducteurs)
  • les polytypes (par exemple 4H-SiC et 6H-SicC)
  • les contraintes/tensions
  • la concentration en dopants
  • l’épaisseur des différentes couches
  • le type et l’orientation de la structure cristalline
  • la qualité des cristaux : amorphisation/cristallinité
  • l’uniformité et la pureté
  • la température du composant à l’échelle micrométrique

Simplicité d’analyse

L’analyse Raman est simple car elle ne requiert aucune préparation de l’échantillon. Pas de mise sous vide ou d’effets de charge comme observé avec la microscopie électronique.

Renishaw peut configurer votre système pour qu’il s’adapte à tous les utilisateurs.

Grande zone d’analyse
Les systèmes Renishaw sont capables d’analyser de très grands échantillons. Vous pouvez par exemple générer des images de wafers entiers pour y détecter des contaminants ou des zones de tensions résiduelles.

Caractérisation PL
Les systèmes Renishaw vous permettent également de collecter et d’analyser des spectres de photoluminescence (PL). Vous pouvez obtenir les informations vibrationnelles et électroniques avec un seul instrument.

Systèmes en ligne
Implémentez les systèmes Raman de Renishaw à votre ligne de production pour mener une analyse en temps réel pour du contrôle qualité. Diagnostiquez les problèmes en amont, réduisez les déchets et améliorez vos rendements.

Résultats fiables
Les systèmes Renishaw produisent des données extrêmement répétables et fiables qui représentent précisément l’échantillon. La calibration automatique et le contrôle des performances intégré garantissent l’exactitude des données obtenues et ce, à tout moment

Voir une vidéo

Télécharger une note d'application

  • Application note: Analyse silicon carbide (SiC) with the inVia Raman microscope (pdf) Application note: Analyse silicon carbide (SiC) with the inVia Raman microscope (pdf) [en]

    The properties of silicon carbide are highly dependent on its crystal structure (it can exist in many polytypes), on the quality of the crystal, and on the number and types of defects present. Manufacturers of silicon carbide raw material and devices need to monitor and control these attributes to enhance yield. The first step in controlling these parameters is to measure them repeatably and quantifiably. Renishaw’s Raman systems are ideal for this.

Plus d’informations

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Actualités récentes

L’inVia remporte le CS Industry Award 2016

Renishaw, multinationale d’ingénierie de pointe, a le plaisir d’annoncer qu’elle a reçu un CS Industry Award 2016 dans la catégorie métrologie, pour son microscope Raman inVia. Les CS Industry Awards sont organisés par le magazine Compound Semiconductor et les votes se font via le site www.compoundsemiconductor.net. Ils couvrent l’ensemble des domaines de l’industrie des semi-conducteurs.