 | Codeur rotatif (angulaire) compatible au vide RGH20F UHVCompatible avec les anneaux RESR Renishaw, la tête de lecture angulaire RGH20F UHV fournit des données de position directes haute fidélité en conditions d'ultra vide. Installée dans des équipements pour semi-conducteurs et des applications scientifiques, elle a fait ses preuves pendant des années à l'échelle mondiale.
Compatible avec les interfaces REF
Pour doper les performances et la fiabilité à long terme, l'interface REF qui est conforme à RoHS remplace les série RGB et RGF en apportant un conditionnement dynamique de signal et des résolutions de 0,05 seconde d'arc. La tête de lecture RGH20F UHV a été fabriquée en conditions propres spéciales avec des matériaux et adhésifs spécialement sélectionnés pour leurs faibles taux de dégazage. Le produit est emballé et conditionné dans un sachet compatible au vide pour garantir le maintien de la propreté. Anneaux rotatifs RESR RenishawComme les anneaux monoblocs RESR sont faits en acier inoxydable série 300 sans aucun enduit, ils peuvent être soumis à des nettoyages et dégraissages spécialisés. L'anneau est pourvu d'un grand trou traversant et d'un petit profil qui simplifie la conception tout en minimisant la masse et l'inertie. L'anneau est également doté de la monture conique brevetée Renishaw, un moyen facile pour réaliser des réglages fins avec un haut niveau de stabilité sur de larges gammes de température. Les anneaux RESR pour applications UHV sont disponibles avec une gamme de diamètres de 52 à 550 mm avec des dimensions personnalisées et des diamètres encore plus grands disponibles sur demande. Résultats des analyses de gaz résiduels (RGA)Des tests RGA (analyses de gaz résiduels) ont démontré que l'ensemble du système convenait aux conditions de vide propre. Il convient également aux étuvages à 120 °C sous vide poussé. Les applications types sont la manipulation/inspection de tranches de semi-conducteurs et les recherches scientifiques. Résultats de spectre RGA pour tête de lecture RGH20F
Cliquez sur le graphique pour l'agrandir Résultats de spectre RGA pour anneaux RESR
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Compatible avec les anneaux RESR, la tête de lecture rotative (angulaire) RGH20F UHV donne des données de position directes haute fidélité en conditions d'ultra vide. Installée à l'échelle mondiale dans des équipements pour semi-conducteurs et applications scientifiques où rien ne doit entraver les performances et la fiabilité, la RGH20F UHV a fait ses preuves pendant des années.
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