 | Codeur linéaire compatible au vide RGH25F UHVLa tête de lecture de codage linéaire RGH25F UHV est compatible avec la règle souple RGS20-S et produit des données de positionnement directes haute fidélité en conditions d'ultra vide. Installée dans des équipements pour semi-conducteurs et des applications scientifiques, elle a fait ses preuves pendant des années à l'échelle mondiale.
Compatible avec les interfaces REF
La tête de lecture RGH25F UHV a été fabriquée en conditions propres spéciales avec des matériaux et des adhésifs spécialement sélectionnés pour leurs faibles taux de dégazage. Le produit est emballé et conditionné dans un sachet compatible au vide pour garantir le maintien de la propreté. Règle souple compatible au videLa règle souple RGS20-S fournit une référence de mesure hautement répétable. Elle peut être installée sur la plupart des matériaux couramment utilisés dans le domaine des semi-conducteurs et des applications scientifiques tels que l'Invar®, le Zerodur®, l'acier inoxydable et l'aluminium. Une fois que les extrémités de la règle ont été fixées au substrat avec l'époxyde recommandé, la règle s'adapte au coefficient de dilatation thermique du substrat et se comporte comme si le substrat lui-même avait été gradué. Résultats des analyses de gaz résiduels (RGA)Des tests RGA (analyses de gaz résiduels) ont démontré que l'ensemble du système convenait aux conditions de vide propre. Il convient également aux étuvages à 120 °C sous vide poussé. Les applications types sont la manipulation/inspection de tranches de semi-conducteurs et les recherches scientifiques. Résultats de spectre RGA pour tête de lecture RGH20F
Cliquez sur le graphique pour l'agrandir Résultats de spectre RGA pour règle souple dorée linéaire RGS
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Fiches techniques
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La tête de lecture de codage linéaire RGH25F UHV est compatible avec la règle souple RGS20-S et produit des données de positionnement directes haute fidélité en conditions d'ultra vide. Installée à l'échelle mondiale sur des équipements pour semi-conducteurs et dans applications scientifiques où rien ne doit entraver les performances et la fiabilité, la RGH25 F UHV a fait ses preuves pendant des années.
Pour doper les performances et la fiabilité à long terme, l'interface REF, conforme à RoHS, remplace les séries RGB et RGF en effectuant un conditionnement dynamique de signal et des résolutions de 5 nm..jpg)
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