Interféromètre différentiel

La tête de détection à interféromètre différentiel RLD10-X3-DI permet des mesures de déplacement relatif entre un miroir fixe de référence et un miroir mobile de mesure. Particulièrement adaptée aux applications sous vide ou en environnements contrôlés, cette de tête de détection a été conçue pour être montée sur la paroi externe d'une chambre de traitement par une simple fixation en trois points. Il est donc inutile de pénétrer dans la chambre pour aligner la tête de détection car des orienteurs de faisceau intégrés permettent un réglage indépendant de tangage et de lacet pour les faisceaux de référence et de mesure. La conception du système de montage permet en outre à la tête de détection d'être retirée et repositionnée avec un minimum d'incidence sur l'alignement du système.

Spécification

Ces chiffres sont basés sur la tête RLD10-X3-DI avec une unité laser RLU20

Caractéristiques et avantages

• Métrologie exceptionnelle
  Stabilité de fréquence p.p. 10⁹ et erreur cyclique ultra faible permettant des résolutions jusqu'à 38,6 pm.
• Configuration différentielle
  Mesure la position relative de la table par rapport au coulisseau, la pièce par rapport à l'outil et élimine les erreurs de mode courantes comme le mouvement de paroi latérale de la chambre lié aux fluctuations d'environnement.
• Alignement rapide
  Alignement simple depuis l'extérieur de la chambre de traitement au moyen de quatre orienteurs de faisceaux intégrés (réglage de lacet et de tangage de ± 1° pour le faisceau de mesure et celui de référence) afin de résoudre les tolérances de montage de la chambre et du miroir.