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Codeurs optiques ultravide (UHV)

Caractéristiques

  • Elles sont faites à partir de matériaux et adhésifs à faibles taux de dégazage compatibles au vide.
  • Résultats propres de RGA (analyse de gaz résiduel)
  • Température d’étuvage de 120 °C
  • Système optique sans contact et ouvert permettant un fonctionnement fiable, à grande vitesse sans friction ni usure
  • Aucun vide sans prise d’air
  • Gamme de règles linéaires et angulaire haute précision

Dans de nombreux procédés industriels, la présence de quantités significatives d’air ou d’autres gaz serait préjudiciable pour le produit fini. Ces procédés doivent donc se dérouler dans des environnements traités selon les niveaux exigeants de pression résiduelle. Lorsque ces procédés ont trait à l’asservissement, des systèmes de codage compatibles au vide sont nécessaires.

Tous les produits de la gamme de codeurs Renishaw compatibles ultravide (UHV) sont conçus pour être utilisés dans diverses applications scientifiques, semi-conducteurs et autres applications industrielles avancées avec des pressions jusqu’à 10-10 Torr. Les principes de fonctionnement fondamentaux sont les mêmes que ceux de nos produits équivalents pour atmosphère normale, mais les versions UHV sont conçues pour éliminer les vides sans prise d’air et sont spécialement fabriquées à partir de matériaux et d’adhésifs propres et compatibles au vide. L’adéquation des produits à une utilisation dans des environnements UHV est homologuée par un organisme d’essai spécialisé indépendant, au moyen notamment d’un essai du spectre RGA (analyse des gaz résiduels) (disponible sur demande).

Logo Compatible UHV

La gamme comprend des versions des têtes de lecture absolues RESOLUTE™, incrémentales TONiC™, et RGH25F, ainsi que diverses règles linéaires et rotatives, pour des performances exceptionnelles et une haute fiabilité.

Codeurs absolus UHV

RESOLUTE UHV est le premier codeur optique véritablement absolu conçu pour les environnements UHV. Il repose sur les mêmes principes de fonctionnement que le reste de la gamme RESOLUTE, ce qui donne lieu à un codeur doté de performances de pas fin avec un large éventail de protocoles série, le tout combiné à de larges tolérances de réglage et à une sécurité intrinsèque. RESOLUTE détermine la position absolue immédiatement à la mise sous tension, en éliminant les mouvements non contrôlés et en facilitant la commande complète des axes sans exiger de retours aux références ou de programmes « saccadés ». Avec une résolution de 1 nm, une erreur de subdivision (SDE) de ±40 nm et un bruit efficace <10 nm, la gamme RESOLUTE offre également aux utilisateurs des performances actualisées significatives.

Codeurs incrémentaux UHV

Les têtes de lecture incrémentales de la gamme incluent un conditionnement dynamique du signal comprenant une commande automatique de gain (AGC) pour des signaux forts et fiables procurant une longue durée de vie de la machine, et une commande automatique d’offset (AOC) pour une meilleure fidélité du signal. L’AOC et le faible bruit de positionnement du codeur présentent également l’avantage de réduire les ondulations de vitesse sur les systèmes à commande directe, ce qui contribue à minimiser l’accumulation de chaleur dans les moteurs à l’intérieur du vide.

La haute précision est garantie au moyen de normes de mesure linéaires, avec règles flexibles autocollantes et règles solides en acier inoxydable et ZeroMet en option. Les options du codeur angulaire incluent les anneaux RESR / RESM bas profil et l’anneau REXM ultra-haute précision, avec une précision installée garantie supérieure à ± 1 seconde d’arc.